mec檢測技術分析

發布日期：2024-03-16      瀏覽次數：854

mec檢測技術分析

定區域檢查/尺寸測量




MLA-5000 專為切割（單晶圓）產品而設計，除了對產品定區域進行表面檢查外，還使用我們的技術來執行尺寸測量。

之定區域巡查

• 通過將定檢查區域設置在檢查對象區域（工件）的末端，可以進行全表面檢查。

• 通過在檢查對象區域（工件）內定定檢查區域并設置多個檢查區域，可以處理多面產品和多個工件。

• 如果檢查對象區域（工件）的形狀復雜，也可以使用CAD數據來定區域。



尺寸測量

• 可以在自動識別的檢查目標區域（工件）內識別定區域，并測量每個區域和每個區域之間的尺寸（距離）。通過測量尺寸，可以獲得定區域的“外徑/內徑/位置偏差量/被檢查產品之間的節距"等信息，并對產品進行合格/不合格判定。

待檢產品示例1		待檢產品例2
從產品的外圓開始指指區域 1、2、3 φDiameter1：指區域 1 的直徑 φDiameter2：指區域 2 的直徑 φDiameter3：指區域的直徑 3TargetPitch：與前一產品的間距PositionGap1 ： 指區域 3 的中心位置 偏差PositionGap2：測量指區域1和2的中心位置偏差 TargetWidth：紙張的全寬度		產品的圓為指區域 φDiameter: 指區域的直徑PositionGap : 測量指區域的中心位置偏差TargetPitch : 與前一個產品的間距TargetWidth : 板材的全寬度