日本toray氧氣計在半導(dǎo)體/液晶/電子元件上的相關(guān)應(yīng)用

發(fā)布日期：2021-08-24      瀏覽次數(shù)：1646

日本toray氧氣計在半導(dǎo)體/液晶/電子元件上的相關(guān)應(yīng)用

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860




氧氣計 MS-500



• 多可同時測量 8 個點(diǎn)

• 可以顯示從 ppm 級到 99% 的各種濃度。

• 適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空設(shè)備等上。

• 傳感器為直插式（NW 法蘭用于真空 16/25/40）

• 高度耐用的傳感器采用特殊涂層，以進(jìn)一步提高耐用性。

MS-500 設(shè)備規(guī)格

測量原理			氧化鋯濃縮電池供電
形狀			分離式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式，傳感器：直插式）
顯示方式			數(shù)字4位顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程
重復(fù)性			在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內(nèi)或更多 ± 1% FS 或更少或 ± 0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm，atm 范圍超出保證濃度范圍
測量點(diǎn)數(shù)			1-8
樣氣條件	壓力		10 -3～ 200 KPa（絕壓）
	流量		0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min（自然擴(kuò)散狀態(tài)的測量）
	濕度		露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
	溫度		0-100℃
	其他		不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比較氣體			氣氛
錄音機(jī)輸出			僅傳輸輸出
傳輸輸出			RS-232C
報警輸出			沒有
預(yù)熱時間			6分鐘內(nèi)
尺寸	MS-500（控制器）		92 (W) x 44 (H) x 120 (D)（不包括突出部分）
	MS-510（轉(zhuǎn)換器）		100 (W) x 40 (H) x 88 (D)（不包括突出部分）
	傳感器單元	SD16NW	全長100mm（感應(yīng)部分Φ11×39，本體部分Φ40×51）
		SD25NW	全長100mm（感應(yīng)部分Φ11×42，本體部分Φ40×48）
		SD40NW	全長100mm（感應(yīng)部分Φ11×41，本體部分Φ40×49）
質(zhì)量	MS-500（控制器）		約0.6Kg
	MS-510（換能器）		約0.5kg
	傳感器單元	SD16NW	約0.2Kg
		SD25NW	約0.2Kg
		SD40NW	約0.35Kg
外部連接			真空法蘭之一（NW16、25、40）
使用的電源			24VDC ± 10%

氧氣計LC-450A、LC-450D



• 
  可以顯示從測量的ppm 水平到 99% 的廣泛濃度范圍。

• 提高傳感器的耐用性
  氧傳感器經(jīng)過特殊處理以提高其耐用性。

• 交流寬電源 AC100-240VAC (LC-450A)
  * LC-450D由24V DC驅(qū)動

• 緊湊且易于安裝
  深度比我們的傳統(tǒng)型號更短，并且不占用太多空間。

• 符合 RoHS 指令的產(chǎn)品

• CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
  EN61010-1：2002、EN61326：+A3：2003

LC-450A 設(shè)備規(guī)格

測量原理			氧化鋯濃縮電池供電
形狀			桌面型/面板安裝型
顯示方式			數(shù)字4位顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程
重復(fù)性			± 1% FS 0-1ppm內(nèi)，atm范圍超出保證濃度范圍
抽樣方法			內(nèi)置泵連續(xù)吸入型
樣氣條件	壓力		加壓30KPa以下
	流量		1,000-2,000 毫升/分鐘
	濕度		露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
	溫度		0-50℃
	其他		不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比較氣體			氣氛
錄音機(jī) 輸出	氧氣濃度輸出		在 4-20mA 和 0-20mA 之間切換（可選 0-10V） 絕緣，負(fù)載電阻 550Ω 或更少 記錄儀輸出范圍是滿量程，線性輸出到氧氣濃度
	輸出范圍		0-99%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動/固定量程
傳輸輸出			RS-232C
報警輸出	FAIL（設(shè)備錯誤）	1分	無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因設(shè)備異常接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動作可變更）
	ALM（濃度報警）	2 分（高 / 高）	無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下， 發(fā)生報警時接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動作可變更）
	RDY（預(yù)熱信號）	1分	無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下 無電壓接點(diǎn)的小開關(guān)容量為12V以上，無法處理微小負(fù)載。
	MRK（范圍標(biāo)記）輸出	2分	無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下
預(yù)熱時間			5分鐘內(nèi)
尺寸	身體		210 (W) x 134 (H) x 300 (D) mm（不包括突出部分）
質(zhì)量			約6kg
氣體 連接口	入口		RC1 / 4
	旁路輸出		RC1 / 4
	奧特萊斯		RC1 / 4
使用的電源			100-240VAC, 50VA (穩(wěn)定: 35VA) 50Hz / 60Hz

LC-450D 設(shè)備規(guī)格

測量原理			氧化鋯濃縮電池供電
形狀			桌面型/面板安裝型
顯示方式			數(shù)字4位顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm 自動量程
重復(fù)性			± 1% FS 0-1ppm內(nèi)，atm范圍超出保證濃度范圍
抽樣方法			內(nèi)置泵連續(xù)吸入型
樣氣條件	壓力		加壓30KPa以下
	流量		~ 1,500L/分鐘
	濕度		露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
	溫度		0-50℃
	其他		不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比較氣體			氣氛
錄音機(jī) 輸出	氧氣濃度輸出		0-10VDC，絕緣，負(fù)載電阻600kΩ或多個 （可選：4-20mA的DC，絕緣，負(fù)載電阻550Ω或更小） 記錄器輸出范圍是滿量程和線性輸出到氧濃度
	輸出范圍		0-99%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自動/固定量程
傳輸輸出			RS-232C
報警輸出	FAIL（設(shè)備錯誤）	1分	無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因設(shè)備異常接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動作可變更）
	ALM（濃度報警）	2 分 (L / LL)	無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下， 發(fā)生報警時接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動作可變更）
	RDY（預(yù)熱信號）	1分	無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下 預(yù)熱運(yùn)行時接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動作可變更） 無電壓接點(diǎn)的小開關(guān)容量為12V或20mA以上，無法處理微小負(fù)載。
	MRK（范圍標(biāo)記）輸出	2分	無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC/AC以下，0.5A以下
預(yù)熱時間			5分鐘內(nèi)
尺寸	身體		240 (W) x 134 (H) x 210 (D) mm（不包括突出部分）
質(zhì)量			約5公斤
氣體 連接口	入口		RC1 / 8
	旁路輸出		RC1 / 8
	奧特萊斯		RC1 / 8
使用的電源			24VDC ± 10%，1.25A（30VA，穩(wěn)態(tài)）

氧氣計LC-860



• 低濃度測量 可測量從
  ppb級到99%

• 操作簡單
  按鍵操作簡單

• 吹掃功能
  比較 氣體更穩(wěn)定，測量精度更高（僅限帶吹掃功能的規(guī)格）。

• 高可靠性傳感器 傳感器
  內(nèi)部也可進(jìn)行劣化防止處理（可選）

LC-860 設(shè)備規(guī)格

測量原理			氧化鋯濃縮電池供電
形狀			桌面型/面板安裝型
顯示方式			數(shù)字6位顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2　10 -20 ~ 10 -0 atm 自動/固定量程
重復(fù)性			氧濃度在±1%FS以內(nèi)，小于1ppm和0-1ppm，atm范圍在保證濃度范圍之外
抽樣方法			內(nèi)置泵連續(xù)吸入型
樣氣條件	壓力		加壓30KPa以下
	流量		~ 1,500 毫升/分鐘
	濕度		露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
	溫度		0-50℃
	其他		不含腐蝕性氣體（氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等）、含有機(jī)硅的氣體、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比較氣體			氣氛
錄音機(jī) 輸出	氧氣濃度輸出		4-20mA / 0-10V 4-20mA : 絕緣，負(fù)載電阻 600Ω 或更小 0-10V: 絕緣，負(fù)載電阻 500Ω 或更大 記錄儀輸出范圍是滿量程，線性輸出到氧濃度
	輸出范圍		0-99%, 0-10%, 0-1%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm, 0-1ppm, 10 -20 -10 -0　或任何4個范圍的自動/固定范圍
傳輸輸出			RS-232C
報警輸出	FAIL（設(shè)備錯誤）	1分	無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量24VDC/AC以下，0.1A以下 因設(shè)備異常接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動作可變更）
	ALM（濃度報警）	2分	無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量 24VDC/AC 以下，0.1A 以下， 發(fā)生報警時接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動作可變更）
	RDY（預(yù)熱信號）	1分	無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量 24VDC/AC 以下，0.5A 以下 預(yù)熱動作時接點(diǎn)閉合（接點(diǎn)動作可變更） 無電壓觸點(diǎn)的小開關(guān)容量為12V以上，無法處理微小負(fù)載。
	MRK（范圍標(biāo)記）輸出	3分	無電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量24VDC/AC以下，0.1A以下
預(yù)熱時間			20分鐘內(nèi)
尺寸	身體		288 (W) x 144 (H) x 400 (D) mm（不包括突出部分）
質(zhì)量			約10公斤
氣體 連接口	入口		RC1 / 8
	旁路輸出		RC1 / 8
	奧特萊斯		RC1 / 4
使用的電源			100-120VAC ± 10% 200VA 50Hz / 60Hz