日本朝日分光光學膜厚儀OMD-1000產品介紹

發布日期：2022-03-02      瀏覽次數：2021

日本朝日分光光學膜厚儀OMD-1000產品介紹



什么是 OMD-1000？

這是一種分光膜厚監測監視器，可在氣相沉積過程中用單色光監測基板上的光量變化。也用于本公司自有的薄膜蒸鍍裝置，作為蒸鍍部件制造商的專有技術，作為膜厚監測裝置完成。

概述

全波長范圍

以往機型的波長選擇是濾光片型，但新產品搭載了本公司業績良好的分光器，現在可以選擇任意波長。
膜厚變化信號由電壓輸出轉為與個人電腦兼容的數字輸出，控制機構由手動操作轉為個人電腦指令控制。此外，通過I/F直接與個人電腦連接，可以控制膜厚計主體，是一個非常緊湊的系統，不需要像其他制造商那樣的控制器。

特征

• 帶光譜儀的緊湊型設計

• 通過提高抗噪性實現高度可靠的膜厚監測（靜電放電測試耐壓±5 kV）

• 可通過來自 PC 的命令進行自動控制

• 通過將控制器集成到接收器主體中實現高性價比

產品規格

模型	OMD-1000
光譜儀類型	Czerny Turner 型單色
波長范圍	保證范圍：380 至 900 nm 可操作 范圍：350 至 1100 nm
波長分辨率	狹縫 0.5mm：4.2nm [546nm] 狹縫 1.0mm：8.3nm [546nm]
波長精度	± 1.0 納米
小波長饋電	0.1nm
外部控制	RS232C
外部輸出端子	DC0-2V（滿量程）
采樣間隔	100ms 或更多
靜電放電試驗耐壓	±5kV（實際8kV）
光源	12V100W鹵素燈
光強度穩定性	±0.1%/小時以下
輸入電壓	AC100V 50 / 60Hz
允許輸入電壓	AC85-132V
視在功率	340VA以下
使用環境	溫度10-35℃ 濕度20-80%

* 請注意，產品規格和外觀如有更改，恕不另行通知。