日本hrd-thermal測量薄膜和微小區域熱導率熱導氣體分析儀

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更新日期：2025-05-02

簡要描述：

日本hrd-thermal測量薄膜和微小區域熱導率TM3
熱物理性質顯微鏡是測量熱滲透率的裝置，熱滲透率是熱物理性質值之一。
它是一種可以通過點，線和表面來測量樣品的熱性能的設備。
也可以測量微米級的熱物理性質值的分布，這在常規熱物理性質測量設備中被認為是困難的。

日本hrd-thermal測量薄膜和微小區域熱導率TM3

熱物理顯微鏡的測量原理（概述）

在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。

名稱/產品名稱	熱物理顯微鏡/熱顯微鏡
測量方式	熱物理性質分布測量（1維，2維，1點）
測量項目	熱滲透率，（熱擴散率），（熱導率）
檢測光斑直徑	約3μm
1點測量標準時間	10秒
待測薄膜	厚度幾百納米到幾十微米
重復精度	耐熱玻璃，硅的熱滲透率小于±10％
樣品	1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm 2.板狀樣品30mm x 30mm以內，厚度3mm以內需要對樣品表面進行鏡面拋光。樣品表面需要進行Mo濺射。
工作溫度極限	24°C±1°C（根據設備中內置的溫度傳感器）
平臺移動距離	? X軸方向20mm ? Y軸方向20mm ? Z軸方向10mm
加熱激光	半導體激光波長：808nm
檢測激光	半導體激光波長：658nm
電源	交流100V 1.5kVA
標準配件	樣品架，參考樣品
選項	光學壓盤，空調，空調房，飛濺裝置