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thermocera納米CVD石墨烯/碳納米管合成器

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更新日期:2024-03-23

簡要描述:

thermocera納米CVD石墨烯/碳納米管合成器
CVD法是一種穩定的技術,已經建立了多種用途,它是未來大規模合成石墨烯和碳納米管的最現實的方法,因此我們在這臺機器中采用了CVD方法。 制造商Moorfield與英國國家研究所合作,多次驗證了這種薄膜沉積實驗裝置。

thermocera納米CVD石墨烯/碳納米管合成器
品牌其他品牌燃料電加熱鍋爐
結構形式立式出口壓力高壓

thermocera納米CVD石墨烯/碳納米管合成器

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? 型號。 納米CVD-8G(用于石墨烯合成)
?型號。 納米CVD-8N(用于碳納米管)


每批僅需 1 分鐘,可輕松合成高質量石墨烯和碳納米管

CVD(化學氣相沉積)

CVD法是一種穩定的技術,已經建立了多種用途,它是未來大規模合成石墨烯和碳納米管的最現實的方法,因此我們在這臺機器中采用了CVD方法。 制造商Moorfield與英國國家研究所合作,多次驗證了這種薄膜沉積實驗裝置。 在與研究機構的合作下,已經驗證了使用拉曼光譜,SEM,AFM等分析數據可以制備高質量的石墨烯和CNT樣品。 

冷壁CVD

采用冷壁/高溫樣品加熱臺(熱板),反應快,重現性好。 設備小型化,加工時間縮短,可操作性強,可創建并存儲30種合成配方。 除了標準系統配置外,還可以根據要求定制設備配置。 nanoCVD系統是一種實驗裝置,盡管體積小,但具有為基礎研究和開發領域做出貢獻的無限潛力。

特征

  • 無需使用大型設備即可輕松進行石墨烯碳納米管 (SWNT) 沉積實驗

  • 1批次只需30分鐘!

  • 冷壁式高效高精度過程控制

  • 快速升溫:室溫→1100°C約3分鐘

  • 高性能機器,具有高精度的溫度流量控制和出色的可重復性

  • 操作簡單! 通過 5 英寸觸摸屏進行操作和配方管理

  • 最多可創建和保存 30 個配方和 30 步合成程序。

  • 標配專用軟件,數據記錄為輸出PC上的CSV文件

  • USB電纜連接,PC端的配方創建→上傳到設備

 thermocera納米CVD石墨烯/碳納米管合成器

主要規格

A. 主要規格

1. 反應室

不銹鋼SUS304泄漏檢查

2. 加熱階段

陶瓷

3. 兼容的樣本量

20 x 40毫米

4. 加熱加熱器

高純石墨加熱器MAX1050°C

5. 溫度控制

包括K型熱電偶標準(安裝在加熱臺下方)

 

B. 過程控制設備規格

1. 氣體控制

質量流量控制器 x 3 (Ar, H2, CH4)

2. 壓力控制

20托爾·

3. 真空抽真空

包括愛德華茲旋轉泵RV3(3?/小時)

4. 操作面板

前置式 5 英寸觸摸屏 (歐姆龍)

5. 風冷

通過冷卻風扇對外殼進行內部冷卻

6. 控制系統

PLC自動過程控制

 

C. 軟件(包括標準)

1. 納米CVD軟件

包括標準(安裝石墨烯的標準程序)

2. 界面

USB 2.0 連接

3. 設置次數

最多可以創建和保存 30 個配方和 30 個步驟

 

D. 氣體引入連接規格

1. 工藝氣體

2 x 4/1 英寸世偉洛克卡套管連接,用于 Ar、H4、CH3

2. 載氣

N2 或 AR φ6mm 推鎖管連接 x 1

 

E. 安全裝置

1. 過熱

由安裝在加熱臺上的熱電偶控制

2. 外殼內部過熱

從內部溫度開關

3. 氣壓異常

從質量流量控制器

4. 真空減少

從真空傳感器

 

F. 公用事業

權力

AC200V 單相 50/60Hz 13A

1. 工藝氣體壓力

最大 30psi 200sccm

2. 載氣壓力

60-80磅/平方英寸

 

G. 尺寸和重量

1. 尺寸

405毫米(寬) x 415毫米(深) x 280毫米(高)

2. 重量

約27公斤



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