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更新日期：2024-03-23
簡要描述：
yutaka中小流量型壓力控制設(shè)備L18H系列L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的塊式壓力調(diào)節(jié)器，專為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。 此外，作為L18產(chǎn)品的繼承者，流動(dòng)特性性能得到了極大的提高。
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
yutaka中小流量型壓力控制設(shè)備L18H系列
功能
低壓1MPa以下
焊接規(guī)范金屬墊片
配件集成規(guī)格
調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)
針型
兼容氣體
7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體，有毒氣體
除外
標(biāo)準(zhǔn)流量
~60噸/分鐘
yutaka中小流量型壓力控制設(shè)備L18H系列
特點(diǎn)
| 適用氣體 | 高純度氣體 |
| 入口壓力 | 0.99MPa以下 |
| 調(diào)節(jié)壓力 | 最大0.7MPa（量程規(guī)格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.7MPa ） |
| 耐壓壓力 | 1.5MPa （入口側(cè)） |
| 簡歷值 | 0.1 |
| 工作溫度 | -10~+40°C |
| 外部泄漏 | 1×10-11Pa?m3/s?He （真空方式） |
| 質(zhì)量 | 約0.36公斤 |
| 安裝方式 | 使用背螺釘安裝 |
L18H 系列是一款符合 1.5 英寸 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的塊式壓力調(diào)節(jié)器，專為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。 此外，作為L18產(chǎn)品的繼承者，流動(dòng)特性性能得到了極大的提高。
主體的焊接接頭規(guī)格也是節(jié)省閥箱空間的理想選擇。
流量約為之前產(chǎn)品L18系列的兩倍（相同的平面間尺寸）
隔膜外部密封使用金屬密封。
